•適用材料:Laminate、支架、載板、Ferrite及晶圓。
•設備功能:將材料料片透過自動化設備之運作後,把材料貼合在UV膜上,供後製程如研磨機或其他製程設備使用。
•設備介紹:
◎ 材料入料區
- 搬運機構將 Magazine內之材料、或散裝料片、或是置放於吸塑盒之材料,透過視覺辨識,將指定之材料
放進料片整位區。
- 機台無需調整或改變流道寬度,依照所選擇之Recipe能匹配不同的Laminate 和 Ferrite 尺寸自動轉換。
- Laminate、支架、載板、彈匣&晶圓環,堆疊缺料檢知可在入料區即將缺料時,會有警告提示,但不停機
直到完全缺料時才停機。
-可透過 Barcode 讀取生產工單資料,或是直接讀取材料上之1D/2D code,供貼膜過程中的相關資訊的交流。
◎ 貼膜區
- 搬運機構二將定位精準之材料, 放置貼膜平台上,及抓取鐵圈放置貼膜平台上,進行貼膜作業。
- 貼合精度:+/-1mm旋轉 < 1⁰
- 貼膜完成透過翻轉機構,將材料翻回到正面,進行條碼貼標作業,及透過條碼讀取器,確認打印之條碼是
否正確。
- 出料區只置放一個料框,可透過程式選擇 8”或12”晶圓環和料框,執行出料區軌道自動調整軌距。
- 可處理 Non Pre-cut UV 及 Pre-cut DAF Membrane的貼膜作業。
- 自動貼膜機之作業參數更換,以透過SECS/GEM交握從IT傳送到設備,自動程序切換以及機構參數比對。
- 製程監控資料可被輸出做資料分析用。